設(shè)備:臺階儀Dektak XT
廠商:美國Bruke
用途:通過該測試,可以得到探針移動路徑上樣品的表面起伏數(shù)據(jù),從而分析出樣品的表面粗糙度、翹曲程度等信息。
技術(shù)指標(biāo):
l 掃描長度: 50μm-55mm
l 垂直測量范圍: 1mm
l 臺階高度重現(xiàn)性5?, 1σ 在1μm臺階上
l 垂直分辨率:最大1?(6.5μm范圍)
l 探針曲率半徑:0.2 um ,2um
樣品臺尺寸:4英寸,6英寸,8英寸
地址:廣東省東莞市松山湖國家高新區(qū)總部一號12棟5樓
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