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SEM檢測

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設(shè)備:掃描電鏡-能譜儀Sigma 300

廠商:德國蔡司

用途:對材料表面形貌、結(jié)構(gòu)等進(jìn)行顯微分析,定位缺陷形狀與尺寸,為器件的失效分析提供技術(shù)支持。

技術(shù)指標(biāo):

l  分辨率: 1.2nm @15 kV   2.2nm @1kV

l  放大倍數(shù):10-1,000,000×

l  加速電壓:調(diào)整范圍:0.02-30 kV(無需減速模式實(shí)現(xiàn))

l  探針電流: 4pA-20nA 40nA&100nA可選)

l  低真空范圍: 2-133Pa Sigma 300VP可用)

l  樣品室: 365 mm(φ),275mmh

l  樣品臺(tái):5軸優(yōu)中心全自動(dòng)   

X=125mm

Y=125 mm

Z=50 mm

T=-10o-90o

R=360o 連續(xù)


  • 地址:廣東省東莞市松山湖國家高新區(qū)總部一號(hào)12棟5樓

  • 電話:0769-33882377

  • 郵箱:nfjc@cwbg-nf.com

  • 傳真:0769-23078230

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