設(shè)備:膜厚儀F50-XT/ F50-UV
廠商:FILMETRICS
用途:依靠F50的光譜測(cè)量系統(tǒng),可以很簡(jiǎn)單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度。
技術(shù)指標(biāo):
l 最大適用4英寸晶圓測(cè)試,最大測(cè)試范圍0-10um
l 測(cè)量n和k值最小厚度要求:50nm
l 波長(zhǎng)范圍:190-1100nm
l 準(zhǔn)確度:0.2%或1nm
l 精度:0.02nm
l 穩(wěn)定性:0.05nm
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